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產(chǎn)品展示
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產(chǎn)品名稱: 愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C
產(chǎn)品時間: 2019-04-09
產(chǎn)品型號: STP-iXA2206C
產(chǎn)品特點: STP-iXA2206 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi)性能,可將小型電源供給集成到機載控制器內(nèi)。 該泵的高度等于 STP-A2203C 的高度,也等于 STP-iXA2205 系列(不帶其電源供給 (iPS-1200))的高度。愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C

愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C 的詳細介紹

英國愛德華STP-iXA2206C ISO250F渦輪分子泵

製品概要

STP-iXA2206 系列磁懸浮渦輪分子泵可提供業(yè)內(nèi),可將小型電源供給集成到機載控制器內(nèi)( 該泵的高度等于 STP-A2203C 的高度,也等于 STP-iXA2205 系列(不帶其電源供給 (iPS-1200))的高度。 這一*集成的產(chǎn)品易于安裝且占地面積小,可作為所有應用工具的一體化解決方案。愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C

用途

  • 金屬(鋁)、鎢和電介質(zhì)(氧化物)以及多晶硅等離子刻蝕(氯化物、氟化物和溴化物)
  • 電子回旋共振 (ECR) 刻蝕
  • 薄膜沉積 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
  • 濺射
  • 離子注入源,射束線泵送和站

    特性與優(yōu)勢

  • 緊湊型設計,包括*集成的控制器
  • 創(chuàng)新性自傳感磁力軸承系統(tǒng)
  • 數(shù)字化 5 軸控制
  • 與現(xiàn)有渦輪泵相比振動級別降低了 50%
  • 可以配置為運行腐蝕性制程愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C

    技術數(shù)據(jù)

    入口法蘭尺寸ISO250F/VG250/ICF305
    前級抽氣口尺寸KF40
    抽速 N2/Ar2200/1900 ls-1
    壓縮比 N2/H2>108 / 1 x 104
    極限壓力10-7 Pa (10-9 Torr)
    允許的前級壓力266  Pa (2 Torr)
    大氣流 N2 *(僅水冷)3000 sccm
     (5.07 Pam3s-1)
    大氣流 Ar *(僅水冷)1400 sccm
     (2.36 Pam3s-1)
    額定速度27000 rpm
    運轉到 90% 額定速度的時間<8 分鐘
    固定位置任何方向
    輸入電壓200-240 V
    大輸入功率(不帶 TMS)1200 VA
    重量62 kg


    * 大氣流適用于在 15-25 °C 之間的水冷卻溫度下連續(xù)泵送 N2 或 Ar 氣體,并且使用前級泵(10,000 l/min 大?。┑那闆r。 它會隨條件變化而變化。

 蘇州昆山太倉無錫上海張家港吳江常熟英國愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C、STP-iXA3306C

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烏魯木齊石家莊天津長春吉林濟南青島英國愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C、STP-iXA3306C

威海德州連云港昆明九江安慶英國愛德華真空分子渦輪泵STP-iXA2206C、STP-iXA3306C

一、進口真空泵維修:
1、BOC EDWARDS(愛德華):GV系列(GV600、GV600-EH4200)、IQDP系列(IQDP80)、QDP系列、DP系列、E1M系列、E2M系列、EH系列、QMB系列、RV系列、ESDP12、GVSP30等。
2、ALCATEL(阿爾卡特):ADS系列(ADS 602H/P、ADS1802H/P)、ADP系列(ADP122)、ACP系列(ACP28、ACP40)、RHV系列、SD系列、C1系列、C2系列、I系列、H1系列、A系列等。
3、LEYBOLD(萊寶):SV系列(SV65B等)、SC系列、DIVAC系列、DK系列、DRYVAC系列、WS系列、SP系列、TRIVAC系列、WH/WHU系列等
4、EBARA(易巴拉):A系列、AV系列、AW系列、AA系列、AAS系列、X系列等。
5、KASHIYAMA:MU系列、SDE系列、SDL系列、KMB系列、NeoDRY系列等。
6、ORION(好利旺):KRX系列、CBX系列、KRF系列、KHF系列、KHA系列、KRA系列、KHH系列等。
7、BECKER(貝克):U系列、VT系列、KVT系列、VTLF系列、T系列、DVT系列、DVTLF系列等。
8、RIETSCHLE(里其樂):VCA/AH/CB/CE/CEH/CH/GD油旋片真空泵系列、CF/F/FD/FDE/FE/FEH/FG/FT/FZ干式旋片真空/壓縮泵系列、VL/DT/KT干式旋片真空/壓縮泵系列等。
9、ULVAC(愛發(fā)科):GLD油旋片真空泵系列、VDN/VSN油選片真空泵系列、PVD油旋片真空泵系列等。
10、VIRIAN(瓦里安):DS/HS/SD/CD系列油旋片真空泵系列、TS/DS干式真空泵系列等。
11、IWATA(巖田)DVSL-100C/ISP-50/ISP-90/ISP-250C/ISP-500C/ISPC-1000/GVSC-500B/GVSC-501B/
12、HANBELL(漢鐘)PS80/PS160/PS180/PS602/PS902/PS1302/PS1802/PD300/PD500/PD1902/PD2152/PD3052/PD3652

二、進口真空泵配件銷售:
1、類型:真空泵維修包、旋片、軸承、油封、過濾器、轉子、軸、隔板、密封圈、定位銷、控制板等。
2、品牌:BOC EDWARDS(愛德華)、ALCATEL(阿爾卡特)、LEYBOLD(萊寶)、EBARA(依巴拉)、KASHIYAMA、ORION(好利旺)、BECKER(貝克)、RIETSCHLE(里其樂)、ULVAC(愛發(fā)科)、VIRIAN(瓦里安)等。

三、進口真空油銷售:
品牌:FOMBLIN真空油、EDWARDS真空油、ADIXEN真空油等。

 

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