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產(chǎn)品展示
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產(chǎn)品名稱: 愛德華edwards半導(dǎo)體iH160干式真空泵維修
產(chǎn)品時(shí)間: 2019-03-25
產(chǎn)品型號: iH160
產(chǎn)品特點(diǎn): Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。愛德華edwards半導(dǎo)體iH160干式真空泵維修

愛德華edwards半導(dǎo)體iH160干式真空泵維修 的詳細(xì)介紹

英國愛德華edwards半導(dǎo)體iH160干式真空泵維修

 

概述

Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明,可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過延長使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率,同時(shí)減小占地面積、降低運(yùn)行成本,實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。
  
iH 系列為難以執(zhí)行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

應(yīng)用

  • 負(fù)載鎖
  • 輸送
  • 計(jì)量
  • 平版印刷
  • PVD 制程
  • PVD 預(yù)清潔
  • RTA
  • 剝離/灰化
  • 刻蝕
  • 植入源
  • HDP CVD
  • RTP
  • SACVD
  • MCVD
  • PECVD
  • LPCVD
  • ALD


有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議,請與 Edwards 聯(lián)系。

功能和優(yōu)勢

  • 優(yōu)化了設(shè)施消耗。
  • 無需預(yù)防性維護(hù)。
  • 懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
  • 在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
  • 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
  • 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
  • 整體式軸桿無需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度165 m3h-1
 97 cfm
 2750 l min-1
極限真空1 x 10-2 mbar
 7.5 x 10-3 Torr
 1 Pa
典型軸封氮流量4 slm
進(jìn)氣口連接ISO63
出口連接NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量120 l h-1
 2 l min-1
重量244 kg
極限功率輸入3.1 kW
電機(jī)額定功率5.0 kW
油容量0.85 l


  
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時(shí)的典型值。

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