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英國愛德華iH晶圓半導(dǎo)體干式真空泵iH80維修

概述

Edwards 高級半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過現(xiàn)場應(yīng)用證明，可以按照高工作標(biāo)準(zhǔn)運行。通過延長使用壽命、提高運行時間并提高生產(chǎn)率，同時減小占地面積、降低運行成本，實現(xiàn)了高的可靠性和性能。
  
iH 系列為難以執(zhí)行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

應(yīng)用

• 負(fù)載鎖
• 輸送
• 計量
• 平版印刷
• PVD 制程
• PVD 預(yù)清潔
• RTA
• 剝離/灰化
• 刻蝕
• 植入源
• HDP CVD
• RTP
• SACVD
• MCVD
• PECVD
• LPCVD
• ALD

功能和優(yōu)勢

• 優(yōu)化了設(shè)施消耗。
• 無需預(yù)防性維護。
• 懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
• 在節(jié)省電機功率的同時提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
• 耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
• 較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
• 整體式軸桿無需使用電機聯(lián)結(jié)器，而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

技術(shù)數(shù)據(jù)

  
所有數(shù)字均為無氣鎮(zhèn)時的典型值。

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