設(shè)備介紹
排氣速度(20℃) | 氮?dú)?/td> | L/s | 4,000 |
氫氣 | 6,000 | ||
氬氣 | 3,300 | ||
水 | 9,500 | ||
到達(dá)圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
大流量 | 氬氣 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 2.0×103(15) |
氫氣 | 4.1×102(3.1) | ||
排氣容量 | 氬氣 | Pa?L(Torr?L) | 2.1×108(1.6×106) |
氫氣 | 9.8×105(7.4×103) | ||
冷卻降下時間 (電力循環(huán)) | min(Hz) | 85/75(50/60) | |
吸氣口法蘭 | UVG-300,10BANSI | ||
壓縮機(jī)裝置 | C30VR | ||
質(zhì)量 | Kg | 40.0 |
*維護(hù)間隔:16,000小時
*可移動基座是選購件
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