羅茨泵是配合干泵、油回轉(zhuǎn)泵、水封泵等組合使用,可以提高粗制泵排氣速度低下的10kPa-0.1Pa領(lǐng)域的排氣速度。
PRC 系列是特別為潔凈度要求高的半導(dǎo)體、液晶制造使用設(shè)計(jì)的羅茨泵??梢赃x擇大氣驅(qū)動(dòng)型。
愛(ài)發(fā)科羅茨真空泵 PRC 系列維修?
型式 | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | |||
大排氣速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 280(4670) | 500(8330) | 1000(16700) | 1500(25000) | |
60Hz | 330(5500) | 600(10000) | 1200(20000) | 1800(30000) | |||
大吸入壓力 | 50Hz | Pa | 1.2 x 103 | 1.3 x 103 | 1.2 x 103 | ||
60Hz | 9.3 x 102 | 1.1 x 103 | 9.3 x 102 | ||||
大容許壓力差 | 50Hz | Pa | 4.0 x 103 | 7.3 x 103 | 4.3 x 103 | ||
60Hz | 3.3 x 103 | 6.0 x 103 | 3.2 x 103 | ||||
到達(dá)壓力 *1 | Pa | 4.0 x 10-1 | 6.7 x 10-1 | ||||
驅(qū)動(dòng)可能圧力 | Pa | ?1.0 x 105(大氣壓驅(qū)動(dòng)型) | |||||
電機(jī)出力(極數(shù)) *2 | kW | 0.75(2) | 2.2(2) | 3.7(2) | 5.5(2) | ||
使用油 *3 | ULVOIL R-4 | ||||||
所要油量 | L | 0.7 | 1.5 | 1.9 | |||
冷卻方式 | 水冷 | ||||||
冷卻水 | 一時(shí)側(cè)圧力 | MPa | 0.3 | ||||
出入口差圧 | MPa | 0.01以上 | |||||
冷卻水量 | L/min | 2 | 3 | ||||
冷卻水溫度 *4 | ºC | 5 ? 30 | |||||
吸氣口徑 JIS-B-2290 | VG80相當(dāng) | VG100相當(dāng) | VG150相當(dāng) | ||||
排氣口徑 JIS-B-2290 | VF80相當(dāng) | VF100相當(dāng) | |||||
外形尺寸(W×D×H) | mm | 296×575×260 | 356×619×320 | 406×759×340 | 406×989×340 | ||
質(zhì)量 *5 | kg | 51 | 86 | 118 | 150 | ||
標(biāo)準(zhǔn)輔助泵 *6 | VD601 | VD901 | VS1501 | VS2401 | |||
選項(xiàng) | 大氣壓驅(qū)動(dòng)(變換器)、潤(rùn)滑油、潤(rùn)滑室排氣端口 |
注) | 本式樣表、采用SI單位系。非SI單位系的換算請(qǐng)參照如下。 |
*1 | 皮拉尼真空計(jì)測(cè)定(輔助泵、標(biāo)準(zhǔn)使用油)。麥克勞德真空計(jì)4.0×10-2Pa。 |
*2 | AC200V(50Hz/60Hz)、AC220V(60Hz)、3相 |
*3 | 合成油選項(xiàng):R-7000、氟油:可以選擇J25F。 |
*4 | 冷卻水溫低時(shí)、請(qǐng)?jiān)诓唤Y(jié)露環(huán)境下使用。 |
*5 | 標(biāo)準(zhǔn)泵的値。(選項(xiàng):包含變換器) |
*6 | 羅茨泵的性能隨標(biāo)準(zhǔn)輔助泵的性能變化。上述數(shù)據(jù)是配合輔助泵時(shí)的值。 |
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