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產(chǎn)品展示
  首頁(yè) >>> 產(chǎn)品展示 >>>  >>>  >>> Mag digital昆山蘇州無(wú)錫上海歐瑞康萊寶MAG digital 系列磁懸浮 分子泵
產(chǎn)品名稱: 昆山蘇州無(wú)錫上海歐瑞康萊寶MAG digital 系列磁懸浮 分子泵
產(chǎn)品時(shí)間: 2015-06-14
產(chǎn)品型號(hào): Mag digital
產(chǎn)品特點(diǎn): 品牌:萊寶型號(hào):歐瑞康萊寶的Mag digital系列磁懸浮分子泵的
材質(zhì):不銹鋼驅(qū)動(dòng)方式:電動(dòng)
用途:管道泵原理:真空泵
極限壓力:1*10-5規(guī)格: Mag digital

昆山蘇州無(wú)錫上海歐瑞康萊寶MAG digital 系列磁懸浮 分子泵 的詳細(xì)介紹

歐瑞康萊寶的Mag digital系列磁懸浮分子泵的

主要技術(shù)特點(diǎn):

抽速: 830l/s ~ 3200l/s
五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng),自平衡性能好全無(wú)油,耐粉塵、抗氣流沖擊。
轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金,一次高速銑削成形,應(yīng)力小,強(qiáng)度高,耐沖擊,高溫變形量小,轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎;轉(zhuǎn)子長(zhǎng)期運(yùn)行溫度可高達(dá)120℃。
轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶技術(shù)的KAPLAR涂層
較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強(qiáng)的防腐蝕性能,適用于抽除腐蝕性強(qiáng)的工藝氣體;
降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量,降低轉(zhuǎn)子運(yùn)行溫度,有利于延長(zhǎng)轉(zhuǎn)子壽命;
葉片鍍KAPLAR的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
保護(hù)軸承為陶瓷軸承壽命長(zhǎng),無(wú)需更換保護(hù)軸承。
高真空端連接采用ISO-F,連接螺栓強(qiáng)度高,充分保障安全。
智能化電源,無(wú)需UPS。
帶拖動(dòng)級(jí),前級(jí)耐壓在2mbar以上。
分子泵運(yùn)行溫度可調(diào)節(jié),使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
的數(shù)字控制技術(shù)
運(yùn)行速度、溫度可設(shè)置;
運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ),提供多達(dá)180條運(yùn)行信息;
磁懸浮軸承及泵運(yùn)行溫度采用數(shù)字化控制,信號(hào)處理速度快,系統(tǒng)反應(yīng)時(shí)間短
轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡變化時(shí),磁場(chǎng)補(bǔ)償反應(yīng)時(shí)間短;
在氣流長(zhǎng)時(shí)間(2分鐘以上)過(guò)大,而使泵負(fù)載過(guò)高,發(fā)熱量過(guò)大時(shí),泵速會(huì)快速自動(dòng)調(diào)節(jié),使泵溫下降到正常水平。
控制器與泵無(wú)識(shí)別性,可互換。
免維護(hù)。


典型應(yīng)用:
 
所有半導(dǎo)體主要制程:刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
科研領(lǐng)域
鍍膜

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